日本三井化学宣布量产新一代 CNT 光刻薄膜，支持 ASML 新一代光刻机 泉科瑞达薄膜拉力试验机可搭配多种夹具满足多种测试需求

日本三井化学宣布量产新一代 CNT 光刻薄膜，支持 ASML 新一代光刻机 泉科瑞达薄膜拉力试验机可搭配多种夹具满足多种测试需求， 

日本三井化学宣布量产新一代 CNT 光刻薄膜，支持 ASML 新一代光刻机

IT之家 6 月 18 日消息，日本三井化学拥有荷兰阿斯麦（ASML Holding NV）授权的 EUV 光罩生产业务，并于 2021 年开始在其岩国大竹工厂商业化生产 EUV 光罩，从而成为该行业的全球领导者。

三井化学宣布将在其岩国大竹工厂设立碳纳米管 (CNT) 薄膜生产线，开始量产半导体最尖端光刻机的零部件产品（保护半导体电路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代产品）。

三井化学预期年产能力为 5000 张，生产线预计于 2025 年 12 月完工，可用于荷兰 ASML 将推出的下一代高数值孔径、高输出 EUV 光刻机提供支持。

那么问题来了，什么是 CNT 薄膜呢？要介绍新材料IT之家这里还需要带大家先了解一下新 EUV 光刻机的能力和需求。

简单来说，下一代 EUV 光刻技术对高数值孔径（NA 值 0.55）、高输出功率 (600W 及更高) 工艺的需求尤其显著，而由新材料制成的薄膜对于承受“能实现此技术所需的苛刻光刻环境”至关重要。

▲ EUV 防护薄膜

为此，三井化学开发出了新款 CNT 薄膜并决定进行量产。据介绍，这种 CNT 薄膜可以实现 92% 以上的高 EUV 透射率和超过 1kW 曝光输出功率的光阻能力。

▲ 碳纳米管薄膜

三井化学希望通过在其产品线中添加使用 CNT 作为膜材料的新一代防护薄膜产品，以及使用硅基膜制成的传统 EUV 防护薄膜，从而有帮助 ASML 提高半导体性能和生产率。

参考资料：

《MITSUI PELLICLE? | MITSUI CHEMICALS, INC.》

《Works | Domestic Sites | MITSUI CHEMICALS, INC.》

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泉科瑞达薄膜拉力试验机可搭配多种夹具满足多种测试需求

在材料科学与工程领域，薄膜拉力测试机作为一种重要的检测设备，广泛应用于塑料薄膜、复合材料、软质包装材料等多种材料的力学性能测试中。其配备的不同夹具设计，能够模拟多种实际使用场景，从而精确评估材料的多种力学性能。本文将深入探讨薄膜拉力测试机配备不同夹具所能进行的性能检测。

泉科瑞达ETT-01电子拉力试验机

一、单轴拉伸试验：评估基本力学性能

单轴拉伸试验是薄膜拉力测试中最基本且最常用的方法。通过配备标准的平行夹具，薄膜样品被固定在测试机的两个夹具之间，施加拉力使其沿一个方向均匀伸长。这一过程中，测试机能够实时记录拉伸过程中的应力和应变数据，进而计算出薄膜的弹性模量、抗拉强度和断裂伸长率等关键力学参数。这些参数直接反映了薄膜材料的基本力学性能，对于材料的选用和产品设计具有重要意义。

二、双轴拉伸试验：模拟复杂受力状态

双轴拉伸试验则更进一步，通过在两个相互垂直的方向上同时对薄膜样品施加拉力，模拟薄膜在实际应用中的复杂受力状态。这种试验方法能更准确地反映薄膜材料的抗皱性、抗撕裂性和尺寸稳定性等性能。双轴拉伸夹具的设计复杂，但能够提供更全面的材料性能评估，对于高端薄膜材料的研究与开发尤为重要。

泉科瑞达MTT系列薄膜拉力试验机

三、循环拉伸试验：评估疲劳性能

循环拉伸试验模拟了薄膜在实际使用过程中经受反复拉伸和松弛的场景。在此试验中，薄膜样品会被周期性地拉伸到一定的应变水平，然后松弛到初始状态。通过多次循环拉伸，测试机能够评估薄膜材料的疲劳性能、弹性恢复能力和耐久性。循环拉伸夹具需要精确控制拉伸和松弛的周期与幅度，以确保测试结果的准确性和可靠性。

四、撕裂试验：测试抗撕裂性能

撕裂试验是评估薄膜材料抗撕裂性能的重要方法。在这一试验中，薄膜样品被固定在特定的撕裂夹具上，并在其一端施加撕裂力。通过测量撕裂过程中的力和位移数据，可以计算出薄膜的撕裂强度和撕裂扩展速度等参数。撕裂夹具的设计需要确保撕裂力能够均匀施加于样品上，避免产生不必要的力偏差，从而影响测试结果的准确性。

五、剥离试验：评估粘附性能

剥离试验主要用于评估薄膜与基材之间的粘附性能。在试验中，薄膜被粘贴在基材上，并在一定角度下施加剥离力。通过测量剥离过程中的力和位移数据，可以计算出薄膜与基材之间的粘附强度和剥离速率等参数。剥离夹具需要确保剥离力能够沿着预定的方向均匀施加，同时避免对薄膜或基材造成不必要的损伤。

六、蠕变试验：研究长时间应力下的变形行为

蠕变试验是一种评估薄膜材料在长时间恒定应力下变形行为的测试方法。在试验中，薄膜样品会被施加一定的拉伸应力，并保持一段时间以观察其变形情况。蠕变夹具需要确保在整个试验过程中应力保持恒定，同时记录样品的应变变化。通过测量蠕变过程中的应变和时间数据，可以了解薄膜材料的蠕变行为和长期稳定性，这对于评估薄膜材料在高温、高湿等恶劣环境下的性能具有重要意义。

七、应力松弛试验：观察应力随时间的变化

应力松弛试验则关注薄膜材料在恒定应变下应力随时间的变化情况。在此试验中，薄膜样品被拉伸到一定的应变水平，并保持该应变不变以观察应力的变化情况。应力松弛夹具需要精确控制样品的应变水平，并实时记录应力的变化。通过应力松弛试验，可以了解薄膜材料在长时间受力后的应力松弛行为，为材料的应用提供重要参考。

结论

综上所述，薄膜拉力测试机配备的不同夹具能够模拟多种实际使用场景，从而精确评估薄膜材料的多种力学性能。从基本的单轴拉伸试验到复杂的双轴拉伸、循环拉伸、撕裂、剥离、蠕变和应力松弛试验，每种试验方法都对应着不同的夹具设计和测试要求。选择合适的夹具对于确保测试结果的准确性和可靠性至关重要。未来，随着材料科学的不断进步和测试技术的日益完善，薄膜拉力测试机及其夹具的设计将更加智能化和精细化，为材料研究与产品开发提供更加有力的支持。

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